大山光学のエッチング加工
東京都上池袋にある「株式会社 大山光学」は、ガラスエッチングにおいてお客様のご要望にお応えするため、μm以下の精度を開発する努力を続けています。こちらでは、当社のエッチング加工についてご説明します。ご不明な点など、お気軽にお問い合わせください。
薄膜エッチング
薄膜エッチングとは、化学的な熔解除去を行なうことで、基板上にパターン形状を作り出す技法で、パターニングとも呼ばれています。
まず、基板上の薄膜全体に感光性の樹脂（フォトレジスト）を塗布し、乾燥させます。そしてフォトレジストを塗布した基板上に原版を合わせて露光し、現像します。すると必要な部分のフォトレジストのみが残ります。
そしてエッチング液をつけて処理を施すと、フォトレジストのない部分は薄膜が溶け出し、パターンの形状をした薄膜だけが基板上に残ります。複雑な回路基板をつくるため、薄膜上の不必要なフォトレジストをきれいに除去します。
薄膜エッチング技術の概要
